过滤

晶圆厂商利用更少的过滤芯实现了颗粒过滤精度升级

应用案例

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一家绝缘层覆硅（SOI）晶圆厂商为新建去离子水回路测试了0.1 µm过滤芯。GORE® 0.02 µm过滤芯在十分之一的时间就达到颗粒规格，运行两年后仍然保持低颗粒水平。


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优点

  • 实现全系统顺利上线运行
  • 水质超过规格要求
  • 漂清时间缩短十（10）倍

情景

一家绝缘层覆硅（SOI）晶圆厂商的新建去离子水回路遇到难题。他们尝试了四家厂商的五种过滤芯，但都不能在可接受的时间内满足颗粒规格要求。其中最好的0.1 μm候选过滤芯，30天之后才达到颗粒规格要求。

系统由两个抛光回路组成：去离子水回路和超纯水回路。

  • 去离子水回路：32 CMH，两（2）个12芯过滤筒，24个40英寸0.1 μm过滤芯，颗粒规格要求：1000颗粒/升（颗粒尺寸0.1 μm）
  • 超纯水回路：45 CMH，超滤模块，颗粒规格要求：300颗粒/升（颗粒尺寸0.05 μm）

解决方案

去离子水回路安装GORE® 0.02μm过滤芯：每个过滤筒内安装五（5）支40英寸滤芯和七（7）个堵头。颗粒滤除性能远超去离子水回路的规格要求。然后将去离子水回路性能与使用超滤模块的超纯水回路进行比较。

结论

  • 颗粒滤除性能与超滤模块相当
  • 需要安装的过滤芯数量从24个减少到10个。
  • 与最好的0.1 µm候选产品相比，漂清时间只有其十分之一
  • 运行两年后，使用GORE®过滤芯的去离子水回路仍然保持低颗粒水平

仅限微电子用途。

不适用于食品、药品、化妆品或医疗设备等制造、加工或包装作业。