过滤

多级过滤帮助上海半导体厂商改善最终水质并防止系统扰动影响

应用案例

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一家大型半导体厂商水质，受到市政水源的周期性波动影响。GORE® 0.1µm DI过滤芯取代了大孔径的UF前保安过滤芯，降低出水颗粒数量，在波动期间仍保持水质良好。


  
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优点

  • 正常运行期间改善基准颗粒数量
  • 加强防护，在系统波动期间保持最终水质符合规格
  • 无需追加投资成本


 

情景

亚洲一家大型半导体厂商受市政水源影响，水质出现周期性降低。这对供应到工厂的最终水质造成不利影响。

水系统利用超滤模块作为终端滤芯，使用大孔径保安滤芯防止超滤受损。

市政水源颗粒数量的突增，导致超滤模块后测量的颗粒数量超过4000个/升（颗粒尺寸0.05 μm）。

厂商考虑加装一个超滤模块橇，以解决该问题。
 

解决方案

选用GORE® 0.1μm DI过滤芯代替大孔径保安过滤芯，因为它们在提供更高过滤精度的同时，能保持大孔径过滤芯的通量。

将GORE®过滤芯安装在晶圆厂的两个终端滤芯回路中之一进行测试，原有过滤芯保持在另一个回路中。观测每个回路超滤模块之后的水质，并将结论进行对比。
 

结论

  • GORE®过滤芯将超滤后0.05μm尺寸的颗粒数量从每升100至500个降低到每升50至200个。
  • 市场水源水质下降期间，使用GORE®过滤芯作为超滤预过滤芯的回路保持了良好水质，0.05μm尺寸的颗粒数量为每升500个。