过滤

半导体制造商将现有系统的过滤芯数量减少50%以上，降低了过滤总成本

应用案例

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一家美国半导体制造商的超纯水精抛回路中预过滤芯，因电荷损失和过滤性能降低给厂家带来忧虑。厂务团队寻求一种最经济有效的方案，以取代原有过滤芯并保持水质规格不受影响。


 

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优点

  • 过滤芯总成本降低50%以上
  • 压降减小，能耗降低
  • 颗粒滤除性能改善，降低了终端滤芯负担

背景

一家美国半导体制造商的超纯水精抛回路中预过滤芯，因电荷损失和过滤性能降低给厂家带来忧虑。厂务团队寻求一种最经济有效的方案，以取代原有过滤芯并保持水质规格不受影响。

  • 超纯水回路:2200 GPM，分为三个回路
  • 终端过滤为超滤配，0.2 μm带电尼龙预过滤芯
  • 预过滤芯:七(7)个30芯过滤器，采用40英寸过滤芯

解决方案

采用GORE® 0.1 μm过滤芯取代0.2 μm尼龙过滤芯。

  • 七(7)个过滤器中，每个过滤器采用三十支10 英寸GORE® 0.1μm过滤芯代替三十支40英寸0.2 μm尼龙过滤芯。
  • 可调式压紧盖板，可让原有的40英寸滤筒使用10英寸GORE®过滤芯。

结论

  • 10英寸等效过滤芯的数量从840支减少到210支
  • 压降减小10%

仅限微电子用途。

不适用于食品、药品、化妆品或医疗设备等制造、加工或包装作业。