过滤

半导体用过滤芯

更高过滤精度与出色通量的完美结合。

线宽和临界颗粒尺寸的不断缩小，对半导体工艺提出了更高的要求。半导体用GORE®过滤芯有助于降低临界颗粒数量，加快槽液周转。随着薄膜技术的重大进步，GORE®过滤芯的通量高达业内标准滤芯的三倍，同时不会影响过滤精度。


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欢迎参观 SEMICON@ China 2012
2012年3月20日-22日
上海新国际博览中心4332号展台

随着薄膜技术取得重大进步，GORE®过滤芯通量可达到目前市场同等精度最优过滤芯的三倍，同时无需牺牲过滤精度。

有各种GORE®过滤芯供您选择，均可提高半导体液体过滤过程的性能。

稀释化学品 湿法处理工序、喷淋装置、抛光后清洗、低温蚀刻槽、稀释化学品循环槽
超纯水 湿法处理工序、最终冲洗槽、超声波清洗、QDR槽、水回收管线
化学品 湿法处理工序、酸、碱、溶剂、晶圆回收工艺、化学液体供给管线、化学液体输送

仅限微电子用途。

不适用于食品、药品、化妆品或医疗设备等制造、加工或包装作业。