2009年“西部最佳”奖获奖名单出台
嘉奖SEMICON West展会的重大行业创新
SAN JOSE,加利福尼亚州-2009年6月17日-国际半导体设备与材料协会(SEMI)今天公布了2009年“西部最佳奖”(Best of West)的获奖名单。该奖项旨在嘉奖微电子供应链中的重大产品和技术成就。美国西部半导体设备暨材料展(SEMICON West)是北美最大的、最具影响力的微电子展会。“西部最佳奖”的评选标准考虑了行业影响、工业和科学成就,及/或社会影响等诸多方面。
2009年“西部最佳奖”共有五家企业获奖,戈尔公司为其中之一。
戈尔(W.L. Gore & Associates, Inc.)公司的用于半导体领域的Gore®过滤芯。半导体行业用途的Gore®过滤芯是20-nm到100-nm级的筒装滤芯,适用于湿法加工工艺中的化学品、稀释化学品和超纯水的过滤。这种过滤芯采用了新型高通量膨体聚四氟乙烯(ePTFE)滤膜,可以使过滤精度从100 nm提高至30 nm,从而提高循环槽清洁度,并缩短处理时间。
最终获奖名单由权威的评奖委员会确定,该委员会代表了微电子行业的各个领域。获得“西部最佳”奖的企业将在2009年7月14-16日举行的SEMICON West展会上予以公布。
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