필터 제품

LCD 제조업체 신규 DI 플랜트에 총 필터비용 대폭 절감


Application

Download PDF (1.61 MB)

LCD 제조업체는 신세대 제조라인을 지원하는 신규 DI플랜트를 평가 중. 과거에는 업스트림 TFT와 칼라필터 공정에서 UF모듈이, 다운스트림 모듈조립에서 마이크로필트레이션 카트리지가 사용되어 왔었다. 최대 비용효율을 위해 칼라필터와 모듈조립 두 개 다 지원하는 DI시스템에서 최종필터로 0.1μm 카트리지 필터를 선택했다.



   
   

장점

  • 투자비용 40% 절감.
  • 운영비용 20% 절감.

상황

LCD 제조업체는 신세대 제조라인을 지원하는 신규 DI플랜트를 평가 중. 과거에는 업스트림 TFT와 칼라필터 공정에서 UF모듈이, 다운스트림 모듈조립에서 마이크로필트레이션 카트리지가 사용되어 왔었다. 최대 비용효율을 위해 칼라필터와 모듈조립 두 개 다 지원하는 DI시스템에서 최종필터로 0.1μm 카트리지 필터를 선택했다.

  • 시스템 흐름 560CMH : 2루프 120CMH 와 2루프 160CMH.
  • 입자 규격 50cts/ml ≥ 0.1μm.

최초 제안시스템은 각각 120CMH 루프용 두 개 40-라운드 하우징 과 160CMH 루프용 두 개 69-라운드 하우징이 필요. 유량은 10인치 당 1.7GPM/psi이고, 30-인치 0.1μm PES필터로 요구 유량과 입자규격을 맞추는 것이었다.


대책

10-인치당 5.1GPM/psi 유량을 갖은 고어® 0.1μm DI 필터가 DI시스템 최종 필터로 선정. 고어® 필터의 높은 유량으로 일반 필터시스템보다 실질적으로 더 작아질 수 있었다: 120CMH 루프용 30-인치 필터로 된 두 개 22-라운드 하우징과 160CMH루프용 30-인치 필터 두 개 29-라운드 하우징.


결과

  • 필요 필터수 53% 절감.
  • 필요 하우징 사이즈 대폭 축소.
  • 압력저하 35% 감소.