필터 제품

다단계 필터링이 상하이 반도체 팹의 최종 수질을 향상시키고 시스템문제 발생에 대비할 수 있게 되었습니다.

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한 반도체 제조업체가 저급한 수질의 수도물 사용으로 발생하는 주기적인 문제를 가지고 있었다. 이 회사는 큰 공극사이즈의 UF 모듈 가드필터를 고어® 0.1µm DI필터로 교체하여 입자수를 줄이고 양호한 수질을 유지할 수 있게 되었습니다.


  
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장점

  • 평상 운영 시 개선된 입자수량
  • 시스템문제 발생시 최종 수질스펙을 유지할 수 있는 추가보호책
  • 추가 자본투자 불필요

상황

아시아에 위치한 한 주요 반도체 제조업체는 저수질 수도물을 사용함에 주기적인 문제를 안고 있었다. 즉 이로 인해 팹으로 공급되는 수질에 악 영향을 끼치고 있었다.

이 시스템은 최종필터로 UF모듈을 사용하고 있었고 이것을 보호하기 위해 큰 공극사이즈의 가드필터를 사용하였었다.

수도물 입자수량에서 스파이크가 영향을 주어서 UF모듈 후단에서 재어보면 0.05 µm 크기에서 입자수량이 리터당 4000개를 넘어서고 있었다. 이 업체는 이 문제를 해결하기 위해 추가적인 UF모듈설치를 검토하고 있었다.

해결책

  

큰 공극사이즈의 가드필터를 대체하기 위해 고어® 0.1µm DI필터가 선정되었는데, 그 이유는 큰 공극사이즈 필터의 유량을 유지하면서 더 많은 입자를 걸러낼 수 있기 때문입니다.

고어®필터를 팹의 최종 필터루프의 두 곳중 한 곳에 설치하였고, 다른 곳에는 POR필터를 그대로 두어 시험, 각각의 루프에 있는 UF모듈 뒤에서 수질을 검사하고 결과를 비교하여 보았습니다.

결과

  • 고어®필터는 0.05µm 크기에서 UF 뒷단 입자수량을 줄일 수 있었는데 100~500개/리터에서 50~200개/리터로 줄였다
  • 저급 수질의 수도물 사용 문제에서도 고어®필터를 UF 전단필터로 사용 시 0.05µm크기에서 리터당 500개 수준의 양호한 수질을 유지하였다.