필터 제품

LCD 제조업체 비용절감, 수질개선, 추가투자도 배제.

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아시아에 위치한 한 주요 반도체 팹회사가 UF모듈에 대한 저비용 대체품을 찾고 있었다. 고어®필터는 가장 어렵다고 말할 수 있는 애플리케이션의 요구조건을 충족하면서 고비용의 UF모듈과 거의 유사한 성능을 제공하였다.


 

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장점

  • 구매와 유지 필터수 감소로 DI시스템 운영 총 비용 감소.
  • UF모듈 설치 비용 절감.
  • 안정적인 운영, 수율 증가, 수질문제 해결 후 보수시간 감소.

상황

한 아시아 LCD제조업체는 DI워터시스템에 정기적인 품질 문제를 겪고 있었다. 시설용수는 1차로 RO시스템 통과 후, 12-라운드 하우징 3개로 구성된 40인치 0.1μm 필터카트리지36개를 포함한 DI폴리싱 루프를 거친다.

RO시스템이 정상적으로 운영되지 않을 때, 대량의 입자가 폴리싱루프로 흘러들었다. 기존 DI시스템은 0.2μm 기준 10,000개 입자를 잡아낼 수 없었다. 수질문제를 해결하기 위해 이 업체는 높은 설치비와 운영비용에도 불구하고 UF모듈로 필터 카트리지 교체를 고려 중이었다.

 

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대책

  • 기존 12-라운드 하우징 3개를 고어® 0.1μm 필터 5개 장착 및 7개는 Blank를 설치.
  • Anatel 모니터로 입자수 측정.

결과

  • 고어® 필터 장착 후 세정에 15분소요 후, 바로 생산 시작.
  • 입자수가 0.1μm 기준 리터당 1000 개, 0.2μm 기준 리터당 0개 달성.
  • 필터 수가 36개에서 15개로 감소.