필터 제품

반도체 제조업체 기존 시스템에 50% 감소된 필터 사용으로총 필터비용 절감

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미국 반도체 제조업체는 UPW시설에 폴리싱 루프 전처리 필터가 전하손실과 성능저하로 문제를 일으키고 있어, 시설팀은 수질규격을 유지하면서 비용효율적인 대체 필터를 찾는 중이었다.


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장점

  • 총 필터 비용 50% 절감.
  • 낮은 차압에 기인한 에너지 비용 감소.
  • 개선된 입자성능으로 최종필터의 부담 감소.

상황

미국 반도체 제조업체는 UPW시설에 폴리싱 루프 전처리 필터가 전하손실과 성능저하로 문제를 일으키고 있어, 시설팀은 수질규격을 유지하면서 비용효율적인 대체 필터를 찾는 중이었다.

  • UPW 루프: 2200GPM 각 3개 루프로 분할.
  • 0.2μm 전하된 나일론; 전처리 필터, UF; 최종필터.
  • 전처리 필터: 40-인치 필터, 7대 30-라운드 하우징.

대책

0.2 μm 나일론 필터를 고어® 필터 0.1μm 로 대체.

  • 각 7대 하우징에서 30개 0.2μm 40-인치 나일론 필터를 30개 고어® 0.1μm 10-인치 필터로 대체.
  • 기존 40-인치 하우징의 조정 가능한 홀드-다운 판으로
    10-인치 고어필터 사용 가능함.

결과

  • 10-인치 필터 기준, 840개에서 210개로 축소.
  • 차압 10% 감소.