モジュール製品

モジュール

半導体・液晶製造工程において、不純物を発生せず高い耐薬品性という特長を持つePTFEは要求される機能に合わせてモジュール化され、分離精製用途に数多く使用されています。
オゾネーションモジュールは異物混入がなく、オゾン濃度の高い超純水を連続生成します。また、脱気モジュールは製造ラインで使用される薬液から溶存ガスを除去します。
特殊な用途だけでなく、室内空調においても、防水透湿性能を活かした加湿エレメントが使用され、年間を通して室内調湿に威力を発揮しています。



オゾネーションモジュール
多孔質PTFE膜を介した拡散溶解によりクリーンでバブルフリーのオゾン水を連続安定的に生成することができます。全ての部材に耐オゾン性の高いフッ素樹脂を使用しているため溶出がありません。

オールフッ素樹脂製脱気モジュール
非多孔質のPTFE膜を介した拡散除去によって、液体中の溶存ガスを脱気することができます。溶液部の全てにフッ素樹脂を使用しているため、半導体・FPDの製造に使われるレジスト、現像液、シンナー等のマイクロバブル対策に最適です。

透湿膜式加湿エレメント
多孔質PTFE膜を介した気体と液体の間接接触により、加湿、冷却、ガス除去をインラインで実現します。水溶性のガス（NH3、HCHO、HF etc.）を水に吸収させて取り除くことができます。