GORE® Filter für Halbleiteranwendungen
Bessere Retention kombiniert mit höherem Durchsatz.
Durch Verkleinerung der Linienbreiten und kritischen Partikelgrößen stehen die Prozesseigner von Halbleiterprozessen vor zusätzlichen Herausforderungen. GORE® Filter für Halbleiteranwendungen können helfen, kritische Partikelzahlen zu reduzieren und Baddurchsätze zu vergrößern.
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Bezugsquellen
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Durch signifikante Fortschritte in der Membrantechnologie erzielen GORE® Filter eine bis zu dreifach höhere Durchflussrate als Standard-Industriefilter ohne Kompromisse bei der Retention. GORE® Filter bieten Ihnen folgende Vorteile:
- Höhere Retention und geringere Partikelzahlen
- Größere Durchflussraten und schnellere Baddurchsätze
- Geringere Betriebskosten
Zur Verbesserung der Flüssigkeitsfiltrationsprozesse bei Halbleitern sind verschiedene GORE® Filter erhältlich.
| Verdünnte Chemikalien | Nassstationen, Sprühwerkzeuge, Politurreinigungen Niedrigtemperatur-Ätzbäder, Umlaufbäder |
|---|---|
| Ultrareines Wasser | Nassstationen, Spülbäder, Ultraschallreinigungen, QDR-Bäder, Wasserrückgewinnungsleitungen |
| Chemikalien | Nassstationen, Säuren, Basen, Lösungsmittel, Waferwiederaufarbeitung, Chemikalien-Zufuhrleitungen, Chemikalienverteilung |